一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置

本发明提供一种硅晶片盒自动清洗检测一体装置，属于硅晶片生产设备，包括有工作台与清洗篮，清洗篮内设有多组硅晶片盒本体，工作台包括底座和顶台，顶台上设有转运组件，转运组件包括轨道和沿轨道滑动的两组机械臂，机械臂末端均设有夹持清洗篮的抓取机构；工作台划分为预洗区与清洗区，预洗区内设有预洗槽，清洗区内依次设有第一清洗槽与第二清洗槽及复洗槽，工作台两侧分别设有进料槽与出料槽；机械臂与工作台上设有用于通过显色反应与图像分析判定硅晶片盒洁净度的检测组件，检测组件包括有图像采集模块与多组显色剂喷管及多组检测探头。该装置通过设置基于显色反应与图像分析的检测组件，使得使用者能够判定硅晶片盒的洁净度。