利用聚焦离子束技术制备透射电镜金属拉伸样品的方法

本发明公开了利用聚焦离子束技术制备透射电镜金属拉伸样品的方法，包括以下步骤：准备待切割的固体样品；在固体样品的选定区域上施加保护层并进行挖空处理后，提取样品胚粘接于力学芯片上；将力学芯片垂直放置，在样品胚的侧面施加保护层，对样品胚进行减薄处理；将力学芯片水平放置，对样品胚进行粗修型处理；对样品胚轮廓进行精细修型，得到哑铃型拉伸样品。本发明建立了标准化的用于透射电子显微镜的微米或亚微米拉伸样品制备流程；避免了离子束约束差异导致的切削形状不对称，同时减少了离子束辐照损伤；同时建立了透射电镜样品的尺寸标准，确保样品在标距段断裂以便于观察断裂微结构。