一种片上异质集成的可调连续波激光雷达芯片

本发明公开了一种片上异质集成的可调连续波激光雷达芯片，涉及光电集成器件技术领域。本发明硅衬底提供工艺兼容性，S i N波导实现低损耗传输，L i NbO3调频器件实现高线性电光调制，即满足异质材料协同设计，系统功耗降低至传统方案的1/5，有效地解决硅材料缺乏电光效应；通过S i N波导的非对称耦合和L i NbO3移相器的相位调控，无需磁光材料即可实现高隔离度光路，实现片上环形器集成，片上集成度>80％，集成度高；L i NbO3调频器件的电极设计提升调制带宽，支持FMCW所需的高频线性扫频，实现调频性能优化，调频线性度提升30％，有效地解决传统FMCW激光雷达系统体积大、成本高、调频线性度受限的问题。