一种用于硅光芯片的不同材料的波导交叉器件

本发明公开了一种用于硅光芯片的不同材料的波导交叉器件，其包括相互交叉的上层波导和下层波导，下层波导依次包括第一宽度固定段、第一宽度渐变段、第二宽度固定段、第二宽度渐变段、第三宽度固定段；第一宽度渐变段和第二宽度渐变段呈线性渐变梯形结构，第一宽度渐变段的宽度从第二宽度固定段开始逐渐变小，直至其宽度与第二宽度固定段的宽度相同；第二宽度渐变段的宽度从所述第二宽度固定段开始逐渐变大，直至其宽度与所述第三宽度固定段的宽度相同。本发明的波导交叉结构设计，实现了在硅基波导的低传输损耗、低反射，以及和氮化硅波导之间的低串扰。