一种芯片测试设备控制电路的故障诊断方法、系统及装置

本发明涉及一种芯片测试设备控制电路的故障诊断方法、系统及装置，方法包括获取芯片测试设备控制电路的运行参数集合并进行异常阈值匹配，得到故障分类结果；基于所述故障分类结果对所述芯片测试设备控制电路进行电源动态信号跟踪，得到电源偏差数据，并提取所述芯片测试设备控制电路的静态偏移量集合；将所述电源偏差数据与所述静态偏移量集合进行内部失效关联，并对所述芯片测试设备控制电路进行外围失效关联识别，得到诊断数据集合；根据所述诊断数据集合构建层级化故障树，并对所述芯片测试设备控制电路进行外围根因匹配，得到故障定位信息。本发明能够全面分析故障的传播路径和影响范围，提高了故障定位的准确性。