摘要
非球面镜干涉测量装调误差的自动修正方法及装置,能够实现自动、准确、快速的装调误差自动修正。方法包括:(1)虚拟干涉仪搭建;(2)数据集制作;(3)神经网络搭建和训练:搭建分类神经网络,输入为干涉图,输出为装调误差类别,使用步骤(2)中得到的数据集进行网络训练,使神经网络具备装调误差检测能力;(4)装调误差预测:在实际的干涉光路中获取当前装调下的干涉图,将干涉图输入训练好的神经网络,完成装调误差类别的预测;(5)装调误差修正:根据步骤(4)得到的装调误差预测结果,控制相应机械件进行装调误差的修正;(6)如果神经网络检测到装调误差不符合要求,执行步骤(4);否则执行步骤(7);(7)结束。
技术关键词
误差预测
修正方法
分类神经网络
干涉仪
仿真软件
非球面镜
神经网络训练
误差识别
修正装置
搭建模块
数据
位移台
机械
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