一种柔性触觉传感器及其制作方法

本发明公开了一种柔性触觉传感器及其制作方法，柔性触觉传感器包括柔性基体、压力敏感层及压力电极；柔性基体具有空腔，并在其外壁形成有受力端面，受力端面与空腔间隔设置；压力敏感层设于柔性基体的内部，且至少部分与空腔在受力端面上的投影重合，压力敏感层在受外力时发生形变；压力电极设于柔性基体，且连接压力敏感层。本方案中，压力敏感层正对空腔的部分能够朝向空腔发生形变，减轻柔性基体对压力敏感层在该部分的阻碍作用，使压力敏感层在承受较小外力时即可朝向空腔发生形变，提高测量灵敏性，同时，结合压力敏感层跟随柔性基体的形变及其在空腔部位的形变，扩大传感器的测量范围。