光电共封装结构及其制造方法

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光电共封装结构及其制造方法
申请号:CN202510767356
申请日期:2025-06-10
公开号:CN120742498A
公开日期:2025-10-03
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种光电共封装结构及其制造方法。所述光电共封装结构包括:光学集成芯片,包括光学元件区域以及位于光学元件区域外部的电芯片区域,光学元件区域内设置有内置光学元件;电子芯片,贴装在光学集成芯片的正面的电芯片区域上,且电子芯片与光学集成芯片电连接;透明块体结构,贴装在光学集成芯片的光学元件区域上,透明块体结构包括朝向光学集成芯片的下表面和沿第一方向与下表面相对的上表面;塑封层,位于光学集成芯片的正面上,且塑封电子芯片和透明块体结构,塑封层暴露透明块体结构的上表面。本发明避免了内置光学元件受到塑封颗粒的污染,同时提高了整个工艺的可控性。
技术关键词
光学集成芯片 光学元件 封装结构 电子芯片 光电 正面 控制芯片 聚甲基丙烯酸甲酯 激光表面处理工艺 六面体结构 层暴露 粗糙度 氧化硅 抛光工艺 石英 阵列 物理
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