一种晶圆制造系统多作业区协同预调度方法

本发明涉及一种晶圆制造系统多作业区协同预调度方法，包括以下步骤：构建约束多目标数学模型，以最小化总拖期和总生产成本为目标函数，充分考虑多时间窗约束的影响。设计双种群进化算法，包括负责探索解空间的多样性的正常种群和解的收敛性收敛种群。在进化过程中，这两种种群动态协同工作。设计基于RBF和SVM的混合代理辅助模型。通过在线学习策略更新代理模型，提高模型的预测精度，确保算法能够探索更多的可行区域；晶圆制造系统多作业区预调度控制器接收新订单信息，触发算法执行并生成调度方案。解决了在晶圆制造系统多目标预调度中调度效率和解的质量不高的问题，增强了种群的收敛性、均匀性以及可行解的数量，有效平衡了总拖期和总生产成本。