一种晶圆外观检测方法、系统、计算机及存储介质

本发明提供一种晶圆外观检测方法、系统、计算机及存储介质，该方法包括以下步骤：从云端获取影像数据，从第一检测结果中筛选各晶粒的数据异常值对应的坐标数据，获取相邻晶粒的各外围晶粒的检测数据；若待测标记晶粒的数量大于第一预设值，则判定相邻晶粒为异常晶粒；得到若干个包括若干个异常晶粒的第二检测结果。通过在传统检测设备的基础上，对影像数据中的异常晶粒进行标记处理，基于异常晶粒的相邻区域对应的相邻晶粒的外围晶粒的分布情况，以判定该相邻晶粒是否异常，根据人为损伤造成的区域连续分布特性，对异常晶粒周围的晶粒进行二次判定，可以解决传统光学检测方案无法检测轻微损伤的问题，提高检测准确率。