一种ROX波段荧光激发芯片及荧光检测系统

本发明涉及一种ROX波段荧光激发芯片及荧光检测系统，通过在氮化硅晶圆上设计了两种不同光栅排布方式的ROX波段荧光激发芯片，并构建了相应荧光检测系统，实现了单波长、毫米级面积内的均匀激发与定量检测。本发明通过对荧光激发芯片中圆形、直线形阵列单元结构的拓展，可实现对多个样本的同时激发与检测，有效提高检测效率、缩小荧光激发与检测系统的体积，以实现便携式的多样本高效检测。