基于激光诱导生长的超导量子芯片电路修复装置及方法

本发明涉及一种基于激光诱导生长的超导量子芯片电路修复装置及方法，属超导量子芯片修复技术领域。本发明利用激光诱导生长原理修复超导量子芯片电路，借助激光的细微聚焦性能精准激活缺陷区域，实现缺陷区域的选择性诱导并触发材料重结晶或原子层精度的外延生长，避免修复时的机械接触或化学残留，且激光诱导生长可避免局部高温带来热损伤，最终有效避免对非缺陷区域的物理与超导性能损伤；同时，修复装置中配置的拉曼光谱分析和探针测试模块，可对修复效果实时检测并可依据当前修复效果动态调整激光修复参数，实现更为灵活的修复。综上，本发明实现了对超导量子芯片高精度、低损伤下的高效修复。