集成电路芯片散热的微通道液冷方法、装置、设备及介质

本发明公开了一种集成电路芯片散热的微通道液冷方法、装置、设备及介质，通过温度传感器阵列、嵌入式温度探针及红外探测器实时采集芯片表面与内部不同深度的温度数据，生成三维温度场矩阵；根据芯片的微通道物理布局进行区域划分并映射三维温度场矩阵，生成区域温度场矩阵；计算区域温度场矩阵的热负荷变化率，基于该变化率采用PI D算法生成主流量调节参数；结合相邻区域温度场矩阵及预构建的拓扑关联表计算支路流量调节参数，融合主流量调节参数与支路流量调节参数生成流量调节量指令。本发明实现了芯片散热的动态精准调控，有效提升散热效率。