工艺参数预测方法及相关设备

一种工艺参数预测方法及相关设备，所述工艺参数预测方法，包括：获取输入电性参数；经由预设的神经网络系统对输入电性参数进行工艺参数预测处理，获取多种可选工艺类别下的工艺参数预测结果。本发明实施例的技术方案，能够在考虑工艺偏差的情况下找到工艺参数与电性参数之间的对应关系，从而能够在半导体器件的实际制造过程中避免因工艺偏差导致的电性参数偏移问题，有利于提高产品良率。