一种缺陷数据融合方法、装置、设备、存储介质以及一种缺陷检测方法

本申请提供一种缺陷数据融合方法、装置、设备及存储介质，一种缺陷检测方法，方法包括：获取多个目标通道中每个目标通道的多个目标缺陷数据以及每个目标通道的光学特性；根据每个目标通道的光学特性从多个目标通道中确定至少一个特性匹配的融合通道对；在特性匹配的目标通道形成融合通道对的基础上，对融合通道对中分别属于不同目标通道的多个目标缺陷数据进行缺陷融合，获得融合通道对的融合缺陷数据，该融合缺陷数据是基于特性匹配的目标通道的目标缺陷数据进行融合得到，因此能够得到准确的缺陷数据，实现缺陷检测结果的统一，满足缺陷检测的准确性需求。