氟化钙晶体缺陷检测系统及方法

本申请提供了氟化钙晶体缺陷检测系统及方法，涉及检测技术领域，方法包括：对晶体进行预处理以确定基准位置和环境参数，然后分别开展光学均匀性检测与应力双折射检测，获得干涉条纹图与偏振态变化数据，并生成光程差数据与应力场数据。通过空间配准和数据关联分析，提取同时存在折射率异常和应力异常的区域作为候选缺陷区域，量化缺陷强度及应力影响范围，最终输出晶体缺陷的质量判定结果。本申请提高了缺陷检测精度与可靠性，特别适用于高精度氟化钙晶体质量控制。