八极静电偏转系统的电极设计方法、装置及电子设备

本申请公开了一种八极静电偏转系统的电极设计方法、装置及电子设备，该方法包括：在偏转系统的仿真模型中构建入射电子束，根据电压赋值策略将电极偏转电压值分配至八个电极；将不同的多个测试参数组输入偏转系统的仿真模型中对入射电子束进行偏转仿真，并记录出射端的对应的各个电子束偏转角度仿真值；对所有记录的每个测试参数组和对应的各个电子束偏转角度仿真值进行建模分析，以得到电极参数模型；根据扫描电镜的光学系统包络设计尺寸确定电极内径候选值；根据电极参数模型、预设参数组和电极内径候选值确定对应的电极厚度候选值；根据电极内径候选值和对应的电极厚度候选值确定电极的目标设计参数。