摘要
本发明属于金属电镀技术领域,具体为一种金属电镀用添加剂及其制备方法和应用。本发明金属电镀用添加剂是一种含酰胺基团化合物,或者其质子化或者季铵盐化产物;含酰胺基团的化合物由聚琥珀酰亚胺与含伯胺基团的化合物为原料在溶剂存在下反应得到;该化合物可作为金属或金属合金沉积、优选为铜或铜合金沉积的抑制剂和/或整平剂的添加剂;在铜电镀的情况下,用于填充沟槽、通孔、或者盲孔等,有利于形成无空隙且表面平坦的铜沉积物,提高电子产品可靠性。可用于电路板制造、微电子芯片互连镀铜、TSV铜互连、封装互连结构金属沉积等领域。
技术关键词
添加剂
基团
丙烷磺酸钠
酰胺
电镀铜电镀液
金属电镀技术
三氟甲磺酸铜
苯磺酸乙酯
硫脲
苯磺酸甲酯
丁烷磺内酯
吗啉乙磺酸
苯骈噻唑
丙烷磺内酯
甲基苯磺酸
芯片互连
系统为您推荐了相关专利信息
修复装置
柔性结构
多模态
丙烯酰基甘氨酰胺
凝胶敷料
光刻胶剥离液
腐蚀抑制剂
半导体芯片
多肽
乙烯基吡咯烷酮
微生物检测方法
微流控芯片通道
免疫磁珠
复合体
微生物检测装置
基因甲基化位点
引物探针组合
肺结节良恶性
检测肺结节
核苷酸