气体传感器、气体传感器系统以及气体传感器的制备方法

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气体传感器、气体传感器系统以及气体传感器的制备方法
申请号:CN202510789652
申请日期:2025-06-13
公开号:CN120594611A
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本公开提供了一种气体传感器,包括封装体和微热板芯片。具体地,封装体,用于提供容纳空间;微热板芯片,位于容纳空间,包括第一类传感器单元和第二类传感器单元,第一类传感器单元用于检测第一浓度范围的待测气体,第二类传感器单元用于检测第二浓度范围的待测气体,第二浓度范围的最小值大于第一浓度范围的最大值。本公开还提供了一种气体传感器系统和气体传感器的制备方法。
技术关键词
传感器单元 气体传感器系统 微热板 纳米浆料 待测气体 半导体传感器 悬桥结构 芯片 催化材料 封装体 内衬结构 电阻值 隔热腔体 陶瓷盖板 封装盖板 加热电极
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