具有基板缓存的晶圆多级分组装置

本发明公开了一种具有基板缓存的晶圆多级分组装置，包括设置在承载台上的晶圆处理模组、主轨道模组和进料轨道模组，主轨道模组位于晶圆处理模组的旁侧，且主轨道模组包括有供基板沿X轴运行的主轨道；基板进料模组包括有可与主轨道对接的进料轨道，于进料轨道模组的旁侧设置有基板缓存模组，进料轨道模组和基板缓存模组并列安装在一切换模组上，该切换模组推动进料轨道模组和基板缓存模组沿与X轴方向垂直的Y轴方向运行。本发明将进料轨道模组和基板缓存模组通过切换模组进行切换，基板缓存模组可通过与主轨道模组对接，实现基板可暂时存入基板缓存模组的缓存箱内，从而克服多级芯片分组过程中芯片与基板之间难以一一对应的问题，确保整个设备可以正常运行。