一种具有优异长期可靠性的MEMS红外光源及其制造方法

本发明涉及一种具有优异长期可靠性的MEMS红外光源及其制造方法，所述MEMS红外光源包括封装基座、红外光源芯片、聚光杯和红外窗口；所述封装基座中心设置有凹槽；所述红外光源芯片设置在封装基座上，其红外辐射区下方的空腔位于凹槽正上方，通过凹槽与外界空气连通；所述聚光杯安装在封装基座上，对红外光源芯片辐射的红外光进行准直和聚焦；所述红外窗口安装在聚光杯的卡槽内；本发明通过在封装基座上挖槽，能使红外辐射区下方的空气与外界连通，解决了现有技术中因空气热胀冷缩导致的光源薄膜振动问题，提高了MEMS红外光源的长期可靠性，同时显著简化封装流程，降低成本，适合批量生产。