亚分辨率辅助图形的成像验证方法及成像验证装置

本发明提供一种亚分辨率辅助图形的成像验证方法及成像验证装置，通过建立真实的亚分辨率辅助图形模型，将亚分辨率辅助图形进行实际曝光后收集成像程度的量化数据，运用原本建立的光学模型加上新的成像程度的量化数据建立新的侦查模型，该侦查模型关注的对象为亚分辨率辅助图形，侦查模型对于亚分辨率辅助图形的仿真较为准确，在执行OPC检验工作时能有效减少虚警率及芯片上的验证工作。