一种晶圆检测装置

本公开实施例提供了一种晶圆检测装置，包括：载物台，用于放置晶圆；晶圆经过划片处理被划片槽划分为多个芯片；激光装置，与载物台相对，用于向载物台的放置晶圆的一侧发射激光光束；在激光光束的数量为三束时，三束激光光束在晶圆上所形成的光斑满足：三个光斑为三角形的三个顶点，任意两个光斑的连线与每一划片槽均不平行，且任意两个光斑的连线的长度均大于第一阈值，第一阈值为相交的两个划片槽的重合区域的最大尺寸；激光装置，还用于感测被反射的激光光束；处理装置，用于判断被反射的激光光束的强度，在任一被反射的激光光束的强度大于强度阈值的情况下，确定载物台上存在晶圆。本公开实施例能够提升晶圆检测的准确性，降低误判率。