摘要
本发明公开了一种半导体芯片生产用开孔装置,涉及半导体芯片生产技术领域,一种半导体芯片生产用开孔装置,包括工作台,所述工作台顶部固定安装有支撑柱,所述支撑柱表面滑动安装有支撑杆,所述支撑杆底部固定安装有电动推杆,所述电动推杆的输出端转动安装有转轴,所述转轴内壁滑动安装有固定件,所述固定件内壁固定安装有钻头,所述工作台表面设有固定装置,将一号夹板的线性运动转化为二号夹板的同步夹紧动作,保证夹持力均匀分布,确保两侧同时施力,避免单边挤压导致的芯片偏移,双夹板设计避免局部应力集中,防止芯片表面划伤或微裂纹。
技术关键词
半导体芯片
工作台表面
液压装置
夹板
钻头
滑动推杆
保护装置
滑动环
斜面
液压杆
液压缸内壁
固定装置
支撑杆高度
滑动套
安装工作台
插杆
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