一种芯片激光切割保护液及其制备方法与应用

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一种芯片激光切割保护液及其制备方法与应用
申请号:CN202410834837
申请日期:2024-06-26
公开号:CN118813328A
公开日期:2024-10-22
类型:发明专利
摘要
本发明涉及一种粘度稳定的芯片激光切割保护液、制备方法、应用和使用其的芯片激光切割保护方法,以质量份计,所述激光切割保护液包括10‑15份聚烯酸或聚醇化合物、0.1‑0.5份紫外吸收剂、0.5‑1.5份稳定剂、5‑20份醚或酯类助剂、0.5‑1份抑菌剂和65‑80份超纯水,所述激光切割保护液通过多个特定组分的选择和使用,具有优异的粘度稳定性和激光切割保护性能,在半导体芯片加工和封装领域具有深刻的意义。
技术关键词
切割保护液 紫外吸收剂 激光 保护方法 超纯水 抑菌剂 粘度稳定 二羟基二苯甲酮 邻羟基苯甲酸 稳定剂 烯酸 混合物 樟脑磺酸 半导体芯片 助剂 酒石酸 去离子水
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