一种裸铜载体热超声键合与芯片封装方法及芯片

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一种裸铜载体热超声键合与芯片封装方法及芯片
申请号:CN202510817153
申请日期:2025-06-18
公开号:CN120600649A
公开日期:2025-09-05
类型:发明专利
摘要
本发明属于半导体集成电路封装领域,公开了一种裸铜载体热超声键合与芯片封装方法及芯片,通过劈刀研磨破除裸铜载体键合区氧化层形成洁净研磨键合区,在研磨键合区直接热超声键合实现芯片/引脚互连,再点银胶包裹焊点后固化,最后完成芯片‑引脚键合。研磨物理破除氧化层根本上解决了裸铜键合氧化难题,免除了传统镀层工艺;银胶包裹既能隔绝焊点二次氧化又增强了塑封料结合界面,且固化后的二次键合确保银胶不干扰引线键合。彻底摆脱贵金属镀层和防氧化气体保护系统,大幅降低框架材料与设备改造成本;通过氧化层破除保障键合可靠性,银胶包裹则同步提升焊点抗氧化性与封装结构结合力,整体在裸铜载体上达成高可靠性封装与显著降本的双重目标。
技术关键词
芯片封装方法 键合区 载体 焊点 劈刀 氧化层 框架 超声功率 高可靠性封装 气体保护系统 半导体集成电路 点胶高度 金属间化合物 包裹 封装结构 镀层 点胶机 参数 压力
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