真空紫外光源芯片及其制备方法、微型光离子化检测器

本公开实施例提供了一种真空紫外光源芯片及其制备方法、微型光离子化检测器，属于光离子化检测器领域。该真空紫外光源芯片应用于光离子化检测器，包括第一衬底、第一硅电极层、介质阻挡层和透紫外光盖板；第一硅电极层设置于第一衬底上，第一硅电极层包括间隔布置的第一激发电极和第二激发电极；介质阻挡层的至少部分覆盖第一激发电极和第二激发电极；透紫外光盖板设置于介质阻挡层的远离第一硅电极层的一侧，透紫外光盖板与第一硅电极层之间形成有气体腔，气体腔中填充有第一气体。本公开能够实现真空紫外光源芯片及PID的高集成化、微型化和低成本化，并且能够提高真空紫外光源芯片及PID的寿命和可靠性。