一种纳米结构的X射线散射光谱的快速获取方法及系统

本申请属于X射线关键尺寸测量领域，本申请提供了一种纳米结构的X射线散射光谱的快速获取方法及系统，本申请通过格林算法改进的截面采样算法对各横截面进行采样，将各横截面的截面轮廓对应的面积积分转换为线积分，显著的减少了各横截面的采样点数量；通过高斯勒让德积分算法获取形貌模型对应的积分高度节点，并配合各横截面的截面形状因子来对形貌模型进行纵截面采样，进一步降低了计算整体形状因子所需的数据，从而能在保证采样精度的同时，实现对高深度比的复杂纳米结构的X射线散射光谱的快速获取。