防止重掺气孔产品流出的方法

本发明涉及一种防止重掺气孔产品流出的方法，所属硅片检测技术领域，包括如下操作步骤：第一步：在外观检测站，表面的缺陷，被正面相机拍照识别并分类为颗粒和PIT。第二步：识别为PIT的缺陷由PIT相机进行取像，根据PIT相机的图像计算逻辑确认是否为气孔。第三步：PIT图像根据缺陷的不同，将捕抓到外周和中心亮点部分，以及整体是否与圆形相似作为判定气孔的依据。第四步：通过开启外观检测设备相应的PIT相机识别判定功能，将重掺气孔识别。具有操作便捷和运行稳定性好优点，解决了单晶硅片在制造过程中出现气孔缺陷的问题。有效防止重掺气孔产品流出到下一站，避免因未识别的异常导致最终器件异常的问题。