摘要
本发明公开了一种防止底填胶水溢料的半导体封装结构及制作方法,该半导体封装结构包括封装单元和密封环墙;封装单元包括导电复合结构、与导电复合结构电连接的芯片、对芯片底部进行填充的底填胶层;单颗半导体封装结构是通过沿封装原坯的切割道经切割而成;密封环墙沿切割道周向设置在封装单元的边缘区域,且位于底填胶层边缘与切割道之间;密封环墙是通过图形化工艺形成的金属层叠结构,且其与导电复合结构中的金属重布线层同步形成。本发明在封装结构中设计密封环墙,在不影响RDL布线密度的同时可以防止底填胶水溢料至切割道,防止芯片在切割过程中受到机械损伤,还可以提高RDL中介层的刚性,减少翘曲,提高封装的可靠性。
技术关键词
半导体封装结构
导电复合结构
封装单元
密封环
重布线层
胶水
芯片
层叠结构
刻蚀工序
塑封工艺
金属结构
包封
电镀
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