倒装芯片封装结构中芯片取出再利用的工艺方法

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倒装芯片封装结构中芯片取出再利用的工艺方法
申请号:CN202510352097
申请日期:2025-03-25
公开号:CN119864324B
公开日期:2025-07-01
类型:发明专利
摘要
本发明提供一种倒装芯片封装结构中芯片取出再利用的工艺方法,包括:(1)在载体上涂覆剥离层,将若干个倒装芯片封装结构以焊球朝上的方向贴装于剥离层上;(2)对剥离层上所有的倒装芯片封装结构进行塑封;(3)由上至下对再封装结构进行研磨或切削;(4)将再封装结构从载体上剥离,并将其切割成单个封装单元,每个封装单元中均包裹有单颗的芯片。本发明通过重新塑封、研磨或切削、剥离及切割工艺,确保了芯片的完整性和焊点的暴露,并利用残留的塑封材料对芯片进行保护,减少了材料的浪费,提高了良率;避免了酸洗产生的有害废液和激光产生的有害气体,更加绿色环保和安全;且工艺简单,适合大规模生产。
技术关键词
倒装芯片封装结构 封装单元 有机硅改性剂 剥离层 底部填充胶 高分子量聚硅氧烷 改性聚二甲基硅氧烷 有机硅改性环氧树脂 球形填料 有机硅环氧树脂 模塑材料 氟改性有机硅 有机硅丙烯酸酯 光学对准系统 双酚F型环氧树脂 增韧剂 有机硅流平剂
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