基片夹持状态的检测方法和系统

本发明涉及半导体制造领域，提供一种基片夹持状态的检测方法和系统，该方法包括：主站将设定值传递给从站；主站确认基片到达承载台后，控制夹持组件夹紧基片外缘；在每个采集周期内，从站通过N个并行通道获取位于基片外缘的模拟量传感模块输出的采集值；从站将采集值传递给主站；从站基于指定的判定方法将采集值与设定值做比较，以获得判定结果；判定结果不为过夹状态且不为碎片状态时，从站继续执行下一采集周期；判定结果为过夹状态或碎片状态时，控制夹持组件在预设时段后复位；主站获取判定结果，计算采集值与设定值的差值；根据差值控制承载台的转速或更新设定值。该方法用于在基片夹持状态的检测时提升数据采集和处理速度。