一种直线型垂直探针卡

本发明公开了一种直线型垂直探针卡，属于半导体芯片测试技术领域。直线型垂直探针卡包括：N层上导引板、M层下导引板以及多个探针，N≥2，M≥1；N层上导引板和M层下导引板沿垂直方向彼此交错设置，且自上往下沿同一水平方向错开；上导引板和下导引板中均设置有多个探针孔，探针贯穿设置在N层上导引板和M层下导引板中彼此对应的探针孔内。本发明结构可以控制探针的弯曲一致性，提高探针的工作稳定性，且在测试晶圆时可以自动清除测试点的氧化物，提升探针的接触性能。