一种狭缝光栅辅助的高品质因子微环谐振腔传感器及其测试方法

本发明涉及一种狭缝光栅辅助的高品质因子微环谐振腔传感器，连接输入光源以及探测器，包括：传感器芯片模块，传感器芯片模块设置有输入光纤、输入光栅耦合器、狭缝光栅微环谐振腔传感器、输出光栅耦合器以及输出光纤，所述输入光纤与输入光栅耦合器之间以及输出光栅耦合器与输出光纤之间均设有8角度倾角；所述狭缝光栅微环谐振腔传感器包括：上信道直波导和传感环。本发明引用了狭缝光栅辅助微环谐振腔传感器，经传感测试品质因子(Q值)更高，更高的品质因子(Q值)意味着更锐利的谐振峰和更低的能量损耗，结合高灵敏度，使传感器能精准探测极其微弱的化学/生物信号，大幅提升了信噪比与测量精度。