基于视觉检测的蓝宝石衬底自动缺陷检测分类的方法

本发明公开了基于视觉检测的蓝宝石衬底自动缺陷检测分类的方法，涉及视觉检测与图像处理技术领域，包括，对多模态图像数据集进行自适应阈值分割和相位一致性检测，并进行融合，获取联合缺陷概率图；从联合缺陷概率图中提取缺陷候选区域，并生成统一特征表示；将统一特征表示输入双分支神经网络，通过交叉注意力机制进行融合并分类，输出缺陷分类结果，利用NeRF算法进行重建，输出缺陷三维形貌，并生成三维形貌图谱；基于三维形貌图谱生成缺陷热力图，结合设备工艺参数进行时空关联分析，输出蓝宝石衬底缺陷工艺分析报告。本发明提升了图像对比度与缺陷表征能力，从而显著增强了检测的全面性和灵敏度。