一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法

本申请公开了一种多相机协同扫描的晶圆预扫描方法，涉及芯片技术领域，该方法利用多个相机搭建得到的相机阵列在每个扫描位置处获取多个靶面图像，各个预扫相机的采集帧率均达到帧率阈值从而保证快速移动扫描需求，再结合图像拼接技术得到扫描位置处的更大画幅的全局扫描图像，从而能够使得在每幅全局扫描图像兼具采集速度、图像质量和画幅尺寸，靶面图像的相对位置固定从而使得可以直接利用图像拼接技术对不同预扫相机的靶面图像交叠部分进行像素级的图像融合避免对交叠区域内的芯片额外执行去重操作，而较大的单次全局扫描范围有利于减少对晶圆完成全域预扫描所需的移动扫描次数，因此整体上提升了晶圆预扫描速度。