一种晶圆上下料对位设备

本发明公开了一种晶圆上下料对位设备，包括上料装置、晶圆机器人、晶圆对位平台和夹具容纳装置；所述上料装置用于容纳晶圆；所述晶圆机器人用于从上料装置中获取晶圆，并用于将晶圆运送至晶圆对位平台处；所述夹具容纳装置设置有容纳槽；所述晶圆对位平台用于将晶圆对位放置于晶圆老化测试夹具内，并用于将晶圆老化测试夹具锁紧；该晶圆对位平台还用于将锁紧后的晶圆老化测试夹具推出至夹具容纳装置的容纳槽内。本发明可自动实现晶圆的运送、晶圆在晶圆老化测试夹具内的对位放置、晶圆老化测试夹具锁紧和推出，全程无需人工参与，显著提高效率，而且，通过优化晶圆对位平台，可最大限度提高晶圆在晶圆老化测试夹具内放置的准确性和效率。