适于大容量检测通道的校准检测系统及方法

本发明涉及一种适于大容量检测通道的校准检测系统及方法。其包括：校准板至少与半导体测试设备内的一个检测通道组适配连接，校准检测时，将每个校准检测通道分别配置处于校准检测状态，且对任一处于校准检测状态的校准检测通道，将所述校准检测通道依次配置处于驱动模式状态以及表征处于浮置状态的Hi‑z模式状态，以得到当前校准检测通道的校准检测信息，基于每个校准检测通道的校准检测信息，确定当前校准检测通道的校准检测状态，其中，所述校准检测状态包括通道连接状态、通道工作状态和/或通道电容器容量状态。本发明能有效对大容量的检测通道进行校准检测，以能满足对大容量检测通道进行校准检测的需求。