一种面向元件几何测量的边缘数据调校方法

本发明属于计算机数字图像处理相关技术领域，具体涉及一种面向元件几何测量的边缘数据调校方法，包括：对图像中的元件边缘进行有交叠地划分，得到边缘片段集；基于有限高斯混合模型并融合小波与全变分，建立所有边缘片段对应的调校边缘最大后验估计函数，最小化该函数，对边缘片段进行独立调校，聚合调校后的各边缘片段，得到预调校边缘；将预调校边缘进行有交叠地划分，得到预调校边缘片段集；采用已得到的有限高斯混合模型融合二阶全变分正则，建立每个预调校边缘片段的理想边缘最大后验估计函数，最小化该函数，对预调校边缘片段进行独立平滑校正，聚合平滑校正后的各边缘片段，得到最终调校边缘。本发明在算法层面提高测量几何元件的精度。