一种低损伤检测表层样品LIBS系统及多通道光谱自校准方法

本发明公开了一种低损伤检测表层样品LIBS系统及多通道光谱自校准方法，包括光束整形系统、三维位移样品台，采集模块、控制模块和光谱校准模块。光束整形系统采用双凸透镜组合结构，结合聚焦透镜，将激光光斑直径缩小至20μm以下，三维位移样品台由控制模块基于实时光谱反馈智能调节样品位置；采集模块预设并自动调节延时序列，控制触发激光器和多通道光谱仪采集样品光谱；光谱校准模块包括背景信号自动扣除、多通道重叠区域动态加权融合及特征峰模糊匹配校准处理功能。本发明提供的系统和自校准方法，实现了低损伤、高效率、高精度的表层样品检测，采集得到无缝、高分辨率、高信噪比的宽带光谱，显著提升了LIBS技术的分析能力和实用性。