一种碱性半导体芯片清洗液、及其制备方法与应用

本发明涉及一种碱性半导体芯片清洗液、及其制备方法与应用，其中碱性半导体芯片清洗液，按照重量份计算包括如下组分：醇胺类物质5‑30份；缓蚀剂1‑10份；季铵碱20‑50份；螯合剂1‑10份；超纯水10‑20份；有机溶剂10‑20份。本发明采用吗啉基胺类物质作为缓蚀剂，吗啉环中氮原子和氧原子均含有未成键电子，能提供强配位点，与金属表面发生化学吸附，形成更牢固的键合；同时，吗啉环通过氮原子连接到其他基团上，使缓蚀剂能吸附于金属表面，提高缓蚀效果。