一种基于太赫兹时域光谱同时测试材料厚度及折射率的方法

本发明公开了一种基于太赫兹时域光谱同时测试材料厚度及折射率的方法，涉及材料测试技术领域，包括利用透射式太赫兹时域光谱系统获取参考信号与样品信号，通过自动峰值识别算法定位关键脉冲峰，并结合快速傅里叶变换获取频域相位信息，进而计算主脉冲与回波的相位差；基于光程差模型，建立双脉冲相位差与材料参数的关系方程组，反演得到材料厚度与折射率，无需先验折射率信息；最后，采用局部加权回归平滑算法处理数据，得到材料综合表征参数。本发明采用上述方法，实现了高精度、快速无损的厚度与折射率测量，显著提升了测量的适用性与灵活性，具有广泛的产业化推广前景。