晶圆图像的处理方法、装置及存储介质

本发明提供了晶圆图像的处理方法、晶圆图像的处理装置及计算机可读存储介质。所述晶圆图像的处理方法包括以下步骤：经由一成像模块，获取待处理的晶圆图像。所述晶圆图像中包括晶圆及由于所述成像模块引起的至少一个干扰点；获取所述成像模块的干扰点数据；以及根据所述干扰点数据，识别所述晶圆图像，以确定所述晶圆的晶圆边缘。本发明可以通过预先获取成像模块的干扰点数据，并基于该干扰点数据过滤晶圆图像，以确定晶圆边缘，用于提升晶圆边缘信息的准确性，从而提升基于该晶圆边缘信息计算得到的晶圆中心位置、半径及缺口相对角度的准确性。