摘要
本公开涉及半导体芯片技术领域,尤其涉及一种半导体器件及其制备方法。半导体器件包括第一区域,以及位于所述第一区域周围的第二区域,所述半导体器件包括衬底、功能层以及漂移层,功能层设于所述衬底之上,漂移层设于所述功能层远离所述衬底的一侧,所述漂移层的掺杂类型与所述功能层的掺杂类型相同,其中,所述功能层包括第一子功能层及第二子功能层,所述第一子功能层设置于所述第二区域,所述第二子功能层设置于所述第一区域,所述第二子功能层的掺杂浓度大于所述第一子功能层的掺杂浓度。
技术关键词
半导体器件
结终端结构
衬底
半导体芯片技术
缓冲层
掺杂区
网状结构
栅极
环形
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