多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质

本发明提供了一种多层膜光学膜的检测方法、装置、设备及存储介质，该方法包括：通过多波段可编程激光源多角度入射照射，获取透射光与反射光的偏振相位差信号并记录偏振椭圆度参数变化；随后结合共焦显微干涉与偏振分析确定应力异常区的空间坐标与应力分布图；再通过宽带光源在光热耦合环境下进行持续照射并监测干涉信号、偏振态与温度变化，得到动态演变特征；最后在预设的光轴排列与光束能量分布的系统环境中对多层膜光学膜执行模拟测试，获取原位偏振态和干涉图数据并评估膜层光学性能。本发明能够在较高分辨率下定位潜在缺陷并准确评估膜层在复杂应用条件下的可靠性与成像质量。