芯片式五电极非接触电导检测器、检测方法及制造方法

本发明提出了芯片式五电极非接触电导检测器、检测方法及制造方法，属于化学分析、检测技术领域，该芯片式五电极非接触电导检测器包括芯片基板；绝缘薄膜，与芯片基板连接，且与芯片基板之间形成微流通道；以及电极板，电极板与芯片基板连接；电极板上分布有五个电极，分别为激励电极E1、差分电压输出电极E2、差分电压输出电极E3、电流输出电极E4和补偿电极E5，激励电极E1、差分电压输出电极E2、差分电压输出电极E3、电流输出电极E4和补偿电极E5中的每一个至少部分与绝缘薄膜接触连接。本发明通过补偿电极上的补偿电压，补偿检测电流与待测样品电流之间的电流差值，抑制或消除检测回路上的泄漏电流。