一种基于多自由度位移测量的快反镜

本发明涉及快反镜技术领域，具体涉及一种基于多自由度位移测量的快反镜，包括：第一传感器模块包括至少两组第一传感器，第一传感器模块用于采集快反镜镜片的多个倾斜角度信号；第二传感器模块包括至少两组第二传感器，第二传感器用于采集快反镜镜片的多个平移量信号；融合模块根据多个倾斜角度信号，获取倾斜角度，并根据多个平移量信号，获取平移量；控制模块根据倾斜角度生成反馈项，根据平移量生成前馈项，根据反馈项和前馈项，获取角度修正量。本发明通过多传感器布局实现镜面倾斜与平移的同步高精度测量，结合信号融合算法与前馈–反馈复合控制策略，有效提升系统的响应速度与控制精度。