一种面向群孔垂直互联的静电喷雾填充金属化方法及装置

本发明属于微纳制造领域，公开了一种面向群孔垂直互联的静电喷雾填充金属化方法及装置。该方法包括：(1)采用等离子体对基板上的微孔的内壁面进行改性处理；(2)在基板的上方，对下方区域的微孔进行静电喷雾，随着微孔外表面电荷的积累，微孔外表面电势高于所述微孔内的电势，同时电场线向孔内聚焦，随后静电喷雾产生的颗粒向微孔内沉积，在微孔的内壁上形成金属导电层。本发明利用电流体喷雾表面沉积带电颗粒前后孔内与孔外表面电势及电场方向的改变，通过电流体喷雾的液滴电荷积累构建不均匀自聚焦电场实现微孔快速金属化。