一种薄膜表面缺陷检测方法及系统

本发明提供一种薄膜表面缺陷检测方法及系统，涉及缺陷检测技术领域，本发明通过引入一种基于形态与能量分布的缺陷置信度评估机制，构建了一个智能化的二次验证环节，从而根本性地提升了检测性能；该机制能够精准区分形态规整、能量集中的真实物理缺陷与由电磁干扰、薄膜瞬时褶皱等引起的伪缺陷，在保留对低对比度缺陷高检出率的同时，有效解决了现有技术因依赖单一信号强度而导致的高误报率难题；此外，这种基于物理特征的判定模型对高速运动中产生的背景噪声具有天然的鲁棒性，而可调节的置信度阈值则赋予了系统极高的实践灵活性，使其能够适应复杂多变的工业环境与不同的质量控制标准，显著增强了整个检测系统的准确性、可靠性与智能化水平。