摘要
本发明提供了一种大尺寸2.5D封装方法,其减小单颗硅转接板的尺寸,可以显著降低环境颗粒物等缺陷造成的不良率,从而提高制造良率。其包括如下步骤:S1、设计时将大尺寸的单颗硅转接板分解成两颗或者多颗;S2、被分解后的小尺寸硅转接板进行单独加工,分别完成存储芯片和逻辑芯片的集成封装;S3、在有机载板上进一步完成小尺寸硅转接板的集成封装。
技术关键词
封装单元
封装方法
硅转接板
大尺寸
光刻掩模板
存储芯片
倒装焊接工艺
封装结构
塑封工艺
小尺寸
焊盘
逻辑
封装体
胶水
凸块
缝隙
良率
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