一种大尺寸2.5D封装方法及其对应的封装结构

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一种大尺寸2.5D封装方法及其对应的封装结构
申请号:CN202510952369
申请日期:2025-07-10
公开号:CN120812952A
公开日期:2025-10-17
类型:发明专利
摘要
本发明提供了一种大尺寸2.5D封装方法,其减小单颗硅转接板的尺寸,可以显著降低环境颗粒物等缺陷造成的不良率,从而提高制造良率。其包括如下步骤:S1、设计时将大尺寸的单颗硅转接板分解成两颗或者多颗;S2、被分解后的小尺寸硅转接板进行单独加工,分别完成存储芯片和逻辑芯片的集成封装;S3、在有机载板上进一步完成小尺寸硅转接板的集成封装。
技术关键词
封装单元 封装方法 硅转接板 大尺寸 光刻掩模板 存储芯片 倒装焊接工艺 封装结构 塑封工艺 小尺寸 焊盘 逻辑 封装体 胶水 凸块 缝隙 良率
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